„Bayesowskie wnioskowanie w metrologii optycznej” (akronim „BayesOM”)
kierownik projektu: dr hab. inż. Maciej Trusiak, prof. uczelni
okres realizacji zadania: 01.10.2024 r. - 30.09.2028 r.
przyznane środki na realizację projektu: 662 460 zł.
Źródło finansowania: Narodowe Centrum Nauki (konkurs Preludium BIS)
Zespół: mgr inż. Damian Suski (SD PW)
Partnerzy: grupa prof. Balpreet Ahluwalii z The Arctic University of Norway, Tromso, Norwegia
Opis projektu:
Projekt BayesOM ma na celu rozwój nowej metody polowej metrologii optycznej dla przemysłu półprzewodnikowego. Zamiast tradycyjnego podejścia wymagającego rejestracji wielu interferogramów z przesunięciem fazowym, proponujemy wykorzystanie algorytmicznej demodulacji fazy z użyciem pojedynczego obrazu prążkowego. Nowatorskim elementem jest zastosowanie wnioskowania bayesowskiego, umożliwiającego precyzyjną estymację parametrów geometrycznych struktur, takich jak falowody. W odróżnieniu od klasycznych metod opartych na transformacie Fouriera czy Hilberta, nasze podejście pozwala uzyskać subpikselową dokładność, minimalizując błędy w obszarach o nagłych zmianach wysokości. Połączenie tej techniki z precyzyjnym interferometrem może teoretycznie zapewnić czułość na poziomie pojedynczych Angstromów. Planowane badania obejmują zarówno symulacje, jak i eksperymenty z różnymi modelami bayesowskimi, w celu poprawy dokładności pomiaru w trudnych warunkach.
Link: https://qcilab.mchtr.pw.edu.pl/
